精密機(jī)械加工是在嚴(yán)格控制的環(huán)境條件下，使用精密機(jī)床和精密量具和量儀來實(shí)現(xiàn)的。加工精度達(dá)到和超過 0.1微米稱超精密機(jī)械加工。在工件和刀具的材料、精加工余量及刀具角度一定的情況下，表面粗糙度取決于切削速度和進(jìn)給速度。焊接件焊前需先進(jìn)行預(yù)熱，焊后需進(jìn)行退火。主要用于：制造高強(qiáng)度的機(jī)械運(yùn)動零件，如葉輪、活塞、軸、齒輪、齒條、蝸桿等。

形狀精度用來限制加工表面宏觀幾何形狀誤差，位置精度用來限制加工表面與其基準(zhǔn)間的平行度、垂直度、同軸度等相互位置誤差。應(yīng)選擇盡可能的設(shè)計(jì)基準(zhǔn)作為定位基準(zhǔn)。特別是在后的完成,保證準(zhǔn)確性,更應(yīng)注意這一原則。這樣可以避免造成位置誤差基準(zhǔn)偏差;機(jī)械元件的加工精度和表面質(zhì)量等加工質(zhì)量，是保證相關(guān)機(jī)械產(chǎn)品裝配質(zhì)量的基礎(chǔ)， 加工誤差的大小反映了加工精度的高低。

在生產(chǎn)過程中，凡是改變生產(chǎn)對象的形狀、尺寸、位置和性質(zhì)等，使其成為成品或者半成品的過程稱為工藝過程。它是生產(chǎn)過程的主要部分。由毛坯變成成品的過程中，在某加工表面上切除的金屬層的總厚度稱為該表面的加工總余量。每一道工序所切除的金屬層厚度稱為工序間加工余量。隨著微/納米科學(xué)與技術(shù)（Micro/Nano Science and Technology）的發(fā)展，以本身形狀尺寸微小或操作尺度為特征的微機(jī)械已成為人們認(rèn)識和改造微觀世界的一種高新科技。